| 型號(hào) | NE-PE2000 |
| 控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏 |
| 等離子發(fā)生器 | 40KHz,0-20KW可調(diào)(選配),配置水冷 |
| 腔體尺寸 | 1100(W)×1750(D)×1100(H)mm |
| 有效處理空間 | 處理層數(shù)為5層 |
| 氣體控制 | 標(biāo)配兩路氣體,MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)精確控制,0-5000sccm |
| 真空泵 | 油泵/干泵 |
| 整機(jī)尺寸 | 2110(L)×2400(W) ×1800 (H)mm |
| 整機(jī)功率 | 45KW |
| 電源 | AC380V,50/60Hz,三相五線 |